大电流探针台作为现代电子测试领域的关键设备，以其高精度、高稳定性和大电流处理能力，在半导体测试、材料研究、电子器件评估等多个领域发挥着不可替代的作用。该设备通过精确控制探针与待测样品之间的接触，能够在高电流条件下进行电性能测试，为科研人员提供宝贵的实验数据和深入的材料特性分析，下面键德测试测量小编将详细介绍大电流探针台的使用方法。

一、准备工作

检查设备：确保探针台及其所有部件(如探针、显微镜、控制系统等)均处于良好工作状态。

样品准备：将待测样品放置在真空卡盘上，并确保样品表面清洁、无杂质。

连接设备：将探针台与测试设备(如电流源、电压表等)正确连接。

二、样品放置与定位

打开真空阀：控制开关，确保样品被牢固吸附在真空卡盘上。

调整样品位置：使用卡盘上的X轴和Y轴控制旋钮，移动卡盘平台，以便在显微镜低倍物镜下清晰地观察到样品。

聚焦与定位：进一步调整卡盘平台，将待测点移至显微镜视野中心。然后切换显微镜至高倍率物镜，找到待测点后微调显微镜聚焦和样品位置，使图像清晰显示。

三、探针安装与调整

安装探针：根据测试需求选择合适的探针，并将其安装到探针座上。

调整探针位置：使用探针座的X、Y、Z三个微调旋钮将探针缓慢移动至接近待测点的位置。

确认接触：当探针针尖悬挂在待测点上方时，可先稍退后Y轴旋钮，再下针Z轴旋钮。最后用X轴旋钮左右滑动，观察是否有划痕，以确认是否已与待测点接触。

四、测试与数据记录

连接测试设备：确认探针与待测点良好接触后，连接测试设备开始进行测试。

设置测试参数：根据测试需求设置电流源、电压表等设备的参数。

记录数据：在测试过程中，及时记录测试数据，以便后续分析。

五、测试结束与设备维护

关闭设备：测试结束后，先关闭测试设备，再关闭探针台的电源。

清理样品与探针：将样品从真空卡盘上取下，并清理探针和探针座上的残留物。

设备维护：定期对探针台进行维护，包括清洁、润滑和校准等，以确保其长期稳定运行。

通过以上步骤，可以确保大电流探针台的正确使用，从而得到准确、可靠的测试结果。